中国电子行业超纯水标准

(EW-1) (EW-2)
 电阻率MΩ.CM. (25℃) 18(95‰时间)不低于17 15(95‰时间)不低于13
  硅   ≤μg/L 2 10
 >1μm 微粒数 0.1 5
 细菌个数 ≤个/ml 0.01 0.1
  铜   ≤μg/L 0.2 1
  锌   ≤μg/L 0.2 1
  镍   ≤μg/L 0.1 1
  钠   ≤μg/L 0.5 2
  钾   ≤μg/L 0.5 2
  氯   ≤μg/L 1 1
 硝酸根  ≤μg/L 1 1
 磷酸根  ≤μg/L 1 1
 硫酸根  ≤μg/L 1 1
 总有机碳 ≤μg/L 20 100

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